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高温超导薄膜微波表面电阻的高精度测试技术研究(英文)

摘要

本文在17GHz下研制了高精度高温超导薄膜微波表面电阻Rs测试系统,该系统采用TE011+δ模悬置屏蔽兰宝石高Q谐振器作为测试传感器,具有很高的测试灵敏度,在77K时,Rs的测试灵敏度为100μΩ,可对Φ10mm以上的单片高温超导薄膜(单面或者双面)进行高灵敏度、高精度、非损伤自动测量.

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