“现代半导体器件物理”课程改革与探索

摘要

随着微电子技术进入后摩尔时代,集成电路专业的研究生不仅要掌握现行的硅基微电子技术,还要能够应对行业未来的重大技术变革,引领时代发展。作为本科生“微电子器件基础”的进阶课程,“现代半导体器件物理”是集成电路专业研究生的核心课程,研究生对器件物理知识的熟识程度直接影响其半导体器件分析和集成电路设计能力。本课程改革以“学生中心,产出导向”为指导,通过梳理课程知识体系,构建模块化的知识地图,将最新学术成果和行业动态融入教学内容,并利用翻转课堂、分组讨论等教学新模式和多元考评体系培养研究生的创新思维,提升研究生学习的积极性、主动性和课程参与度。本课程的教学改革成果为集成电路专业研究生的核心课程建设和人才培养提供了一定的参考。