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张慧娟;
三轴数字MEMS加速度计; ADXL362; 低功耗; ADI;
机译:一流的带宽,超低功耗的三轴200g数字MEMS加速度计美国ADI量产
机译:实现高性能三轴电容式MEMS加速度计的新设计和制造方法
机译:借助三轴MEMS加速度计的柔性电路实现了微小的功能
机译:新型CMOS-MEMS单校验质量三轴加速度计的设计与实现
机译:开发三轴MEMS加速度计。
机译:具有折叠梁的新型三轴压电MEMS加速度计
机译:新型mEms数字加速度计的开发与评价基础研究。
机译:具有一个或多个去耦元件的MEMS三轴加速度计
机译:具有对称结构的三轴MEMS加速度计
机译:三轴单片MEMS加速度计及其制造方法
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