国内首台自主知识产权“光刻机”面世

摘要

芯硕半导体（中国）有限公司研制成功具有世界领先水平、完全拥有自主知识产权的国内首台直写式“光刻机”。这标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面已被打破。