半干混浆法制作氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的研究

摘要

近二十年来伴随着我国工业的迅猛发展带来的煤炭石油等能源的过度开发,造成了我国能源的紧缺、环境的破坏和污染;国家层面已经意识到问题的严重性.作为清洁能源之一的太阳能的开发利用已经迅速发展起来;作为吸收并储存太阳能的多晶硅晶体制作的容器—陶瓷坩埚的生产至关重要,传统的熔融石英陶瓷坩埚由于生产成品率的过低,导致了多晶硅晶体的价格攀升,开发成本过高,市场竞争力低.目前新兴起来的氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚由于其优良的性能正陆续取代传统的熔融石英陶瓷坩埚,而且在有色金属冶炼方面也大量被使用.目前该坩埚的制作方法主要有机械压力成型法和凝胶注模法,本文主要介绍一种新的制作方法,涉及到氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚制作技术的改进.