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叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计

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本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导.并根据理论公式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻.

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来源
《电脑知识与技术》 |2007年第13期|P.161-163|共3页
作者
许万里;
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作者单位

厦门海洋职业技术学院,福建,厦门,361012;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类敏感器件 ;
关键词
敏感元件 ; 叉指电极; 分布电阻; 计算软件 ;

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