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梁挺; 杨峰; 李超; 张蕙菁; 丁昨凯; 延琦;
西安应用光学研究所,西安 710065;
北京华龙通科技有限公司,北京 100084;
诺基亚通信系统技术有限公司 ,北京 100022;
姿态测量; MEMS惯性传感器; 旋转调制; 航向误差修正;
机译:SOI键合晶圆工艺用于高精度MEMS惯性传感器
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