退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
董林玺; 焦继伟; 颜海霞; 孙玲玲;
杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,浙江杭州,310018;
中科院传感技术国家重点实验室,上海,200050;
东芝水电设备有限公司,浙江杭州,311504;
电容式加速度计; 惯性传感器; 高精度; 深度粒子反应刻蚀;
机译:SOI键合晶圆工艺用于高精度MEMS惯性传感器
机译:高精度惯性传感器中使用的新型小角换能器电磁场的研究
机译:具有高密度质量的双轴MEMS电容式惯性传感器
机译:洛伦兹力驱动的新型MEMS惯性传感器性能建模与研究
机译:电容式CMOS-MEMS惯性传感器的传感和控制电子设计。
机译:高精度电容式MEMS加速度计中减轻粘结引起的翘曲的温度梯度方法
机译:用于缓解粘接诱导的高精度翘曲的温度梯度方法,高精度电容MEMS加速度计
机译:电容式mEms开关中驱动电压的温度变化
机译:利用SOI晶片和加速度计制造高精度MEMS惯性传感器的方法
机译:带局部磁谐振的磁谐振和磁谐振检测以及检测结合局部磁谐振的程序用于宠物研究的组合式磁谐振
机译:具有双磁和电容驱动的MEMS扫描仪
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。