集成式氦质谱检漏装置的研制

摘要

真空多层绝热管道漏率是否满足要求,直接关系到管道的真空寿命.传统检漏系统包含设备多、体积大、重量大,移动困难,论文研制出一种集成式氦质谱检漏装置,适合在检漏工序不可或缺但是检漏工作量较小的现场安装环境.