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李源; 孙薇斌; 邵力; 傅星; 栗大超; 胡小唐;
上海市计量测试技术研究院;
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;
微机电系统; 微触觉测头; 纳米测量机; 扫描测量平台;
机译:基于五维力/扭矩传感器的三坐标测量机测头的开发
机译:基于纳米测量机的白光倾斜扫描干涉仪,用于大规模光学阵列结构测量
机译:基于MEMS技术的医学扫描微镜平台
机译:开发用于微/纳米三坐标测量机的触发式测头
机译:使用坐标测量机的尺寸检查中的接触式测头行程补偿的定量方法
机译:基于mEms技术的医学应用扫描微镜平台
机译:使用基于mEms的泵送液体冷却系统的微/纳米航天器热控制
机译:具有类比触觉测头的坐标测量机以及通过坐标测量机测量工件的方法
机译:用于检测未知工件轮廓的坐标测量机的扫描方法,包括限制导向轴和扫描轴的最大加速度和最大测头速度
机译:用于坐标测量机的触觉感测头的传感器模块
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