微纳米测量机测头结构的参数设计及分析

摘要

设计了一种高精度的接触扫描式测头,提出了4种测头弹性结构的设计方案.根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求,选择了最优的设计结构.对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析,分析结果表明设计的测头测量范围达到40 μm×40μm×20 μm,测量刚度小于0.5 mN/μm,各向同性也符合设计要求.