一种可变刚度接触式微纳米坐标测量机测头

摘要

本发明涉及一种可变刚度接触式微纳米坐标测量机测头，其特征在于，包括弹性敏感梁，中心连接体，“鹤”形框架，“工”字形柔顺机构，电容上极板，电容下极板，工作平台，所述弹性敏感梁的内端固定于“鹤”形框架的首部，弹性敏感梁的外端固定于“工”字形柔顺机构的中点内端，所述中心连接体的末端固定于弹性敏感梁的中点，所述“工”字形柔顺机构的两侧固定于“鹤”形框架，所述电容上极板固定于中心连接体的末端下表面，所述电容下极板固定于工作平台的上端。本发明通过设置有测头悬挂结构，有助于实现测头系统的刚度调节和空间排布结构的紧凑，通过设置有压电驱动器和弹性敏感梁，有助于减小测量过程中的测量力，通过设置有绕工作台轴线圆周均匀排布的弹性敏感梁和“鹤”形框架，有助于降低对弹性敏感梁的安装对称度和所受压力必须一致的条件，且结构简单，操作方便，经济实用。