掺铝对ZnO薄膜光学常数的影响

摘要

采用溶胶-凝胶法在（0001）蓝宝石衬底上制备了ZnO∶Al薄膜,利用Kramers-Kronig色散关系对ZnO∶Al薄膜在300～600nm波长区域的光学常数进行计算,研究了掺杂浓度对薄膜光学常数的影响。计算结果显示,在可见光区,薄膜的光学常数受铝掺杂浓度的影响很小,折射率、消光系数、复介电常数实部和虚部的数值基本恒定,分别约为1.6,0.08,0.27和2.5。在紫外区,薄膜光学常数受掺杂浓度的影响明显,随掺杂浓度提高,光学常数数值均减小,并且都在激子吸收峰（370 nm）处出现一极大值。