溶胶-凝胶法制备LiCl/SiO_2-Al_2O_3纳米复合薄膜的湿敏特性

摘要

采用溶胶-凝胶工艺，将LiCl湿敏组元复合到SiO2-Al2O3玻璃先驱体中，用提拉法镀膜，经过适当的热处理，可以获得具有纳米结构和良好湿敏特性的LiCl／玻璃基薄膜。湿敏特性研究表明该类薄膜制得的传感器可在全湿范围内实现对湿度的测量。