LiCl/SiO_2-Al_2O_3薄膜的纳米结构和湿敏特性

摘要

通过溶胶－凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl／SiO2－Al2O3薄膜材料，利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征．结果表明，具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化＞3个数量级，阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度，吸湿响应＜30s，脱湿响应＜60s．