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徐锋; 左敦稳; 王珉; 黎向锋; 卢文壮; 彭文武;
南京航空航天大学机电学院;
CVD; 金刚石厚膜; 机械抛光技术; 残余应力; XRD;
机译:独立式掺硼CVD金刚石膜的晶体结构,硼分布和残余应力的研究
机译:独立式CVD金刚石厚膜中的应力
机译:MPCVD法制备大厚金刚石膜的残余应力和微观结构的研究
机译:微波等离子体CVD金刚石膜的残余应力分析
机译:多晶CVD金刚石中的断裂和残余应力测量。
机译:用树脂粘合金刚石锯锯制线速对相变硅晶片中的相变和残余应力的影响
机译:功率mEms结构和器件用pECVD厚氧化膜的残余应力和断裂
机译:基本上没有热应力引起的裂纹的CVD金刚石膜的制造方法
机译:制备基本上没有热应力引起的裂纹的CVD金刚石膜的方法
机译:几乎没有热应力引起的裂纹的化学气相沉积(CVD)金刚石膜的生产方法
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