首页> 中文期刊>材料研究学报 >非晶态Ge/SiO_2超晶格结构与特性

非晶态Ge/SiO_2超晶格结构与特性

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在双靶射频溅射系统中，以氢气为工作气体，交替溅射高纯Ge和SiO2，制备出了非晶态Ge／SiO2超晶格．小角度X射线衍射分析结果表明样品具有良好的周期性和界面平整性．其光学带降Eopt由红外透射、反射谱确定．当锗势阱层厚度从0．38nm减小到0.12nm时，超晶格光学带欧发生约0．3eV的游移．

著录项

来源
《材料研究学报》|1998年第5期|512-514|共3页
作者
张兴旺; 陈光华;
展开▼
作者单位

兰州大学;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.11;O472.3;
关键词
超晶格; 射频溅射; 非晶; 锗; 二氧化硅; 光学特性;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 非晶态Si/SiNx超晶格材料的发光与非线性光学特性 [J] . 申继伟 ,罗为 ,杜锦丽 . 发光学报 . 2016,第007期
2. Ge_xSi_(1-x)/Si应变层超晶格的结构特性与器件应用 [J] . 彭英才 . 半导体光电 . 1992,第4期
3. Ge/Si超导型和Ge_xSi_(1-x)/Si合金型超晶格的分子束外延生长和特性研究 [J] . 盛篪 ,俞鸣人 ,王迅 . 真空科学与技术学报 . 1990,第3期
4. 非晶态半导体超晶格研究进展 [J] . 韩伟强 ,韩高荣 . 材料导报 . 1995,第002期
5. 非晶态半导体超晶格中的纵声学声子折叠效应 [J] . 徐骏 ,陈坤基 ,韩和相 . 物理学报 . 1992,第012期
6. 低温生长的Ge/Si超晶格界面结构的X射线散射研究 [C] . 吴小山 ,谭伟石 ,杨立 . 第八届全国X射线衍射学术会议 . 2003
7. 铁磁/硅烯超晶格结构电子自旋输运特性研究 [A] . 林妍 . 2017

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号