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大视场投影光刻物镜的畸变特性检测

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摘要

畸变特性是光刻物镜的关键指标 ,目前少有报道 ,提出了一种大视场投影光刻物镜畸变测量原理 ,测量系统和测量数据的处理方法利用该装置对研制的口径 6英寸 ,分辨率 3μm的物镜进行了测量 ,得出该物镜在全视场的畸变值小于 2 .0

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来源
《光子学报》 |2005年第1期|46-49|共4页
作者
马韬; 沈亦兵;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类光学仪器;应用光学;
关键词
光刻; 畸变检测;

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