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钱鹤; 刘训春; 王润梅; 欧文; 张学; 曹振亚; 吴德馨;
中国科学院微电子中心;
移相光刻; 深亚微米; HEMT; 半导体制造工艺;
机译:MEMS材料的KrF准分子激光微加工:表征和应用
机译:通过泵和探针测量的多普勒频移分析,0.5 ps KrF准分子激光诱导的等离子体的扩展速度
机译:微弧作为放电激发KrF准分子激光器中光脉冲的终止机制
机译:KrF准分子激光对石墨靶的光烧蚀及其在硬碳薄膜沉积中的应用
机译:准分子激光微加工技术在微流体系统中的分析与制备及其在微流体和生物医学设备中的应用。
机译:可见光投影立体光刻在设计架构的实时牢房 - 脚手架制造中的应用
机译:用于毫米波应用的金属有机气相外延生长在siC上的alInN HEmT
机译:适于作为酸产生剂的盐,适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻,EUV,乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物,以及光致抗蚀剂的制造方法
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
机译:KRF准分子激光器在激光脉冲分离和薄层电压降低中的应用
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