基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究

摘要

本文探讨了一种基于 MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺。该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等 ,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间 ,在制造工艺上类似固态继电器 ,因此可望大幅度降低造价 。