MEMS技术在微型电磁继电器应用中的探讨

任万滨; 翟国富; 李德胜; 肖伟耀

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基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足.以一种微机械电磁继电器为例,介绍了应用MEMS技术的微型电磁继电器的结构特点和工作原理,并分析了影响其动作性能指标的关键参数,最后介绍了MEMS加工制作工艺特点及今后的研究方向.

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来源
《机电元件》 |2004年第3期|3-5,17|共4页
作者
任万滨; 翟国富; 李德胜; 肖伟耀;
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作者单位

哈尔滨工业大学军用电器研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学军用电器研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

北京工业大学机电学院,北京,100022;

哈尔滨工业大学军用电器研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类继电器;
关键词
微机电系统(MEMS); 微型继电器; 磁微执行器;

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