氟化钙晶体生长工艺研究

摘要

氟化钙晶体是一种十分重要的材料,目前,随着深紫外光刻技术的不断发展,氟化钙晶体逐渐朝着高透过率、宽透光范围的方向发展,无论是在质量上还是在尺寸上,都得到了很大的优化。本文结合氟化钙的基本性质,对其晶体的生长方式和生长工艺进行了研究。