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吴龙海;
上海宏力半导体制造有限公司光刻工程部;
光刻技术; 综合; 优势; 具体; 叙述;
机译:在加利福尼亚,专业人士讨论了193i光刻技术的发展:浸没式光刻技术的耐火测试
机译:浸没式光刻技术中水对光刻胶表面的影响
机译:采用高NA(1.07)浸没式光刻技术的45mm新一代高性能系统LSI平台技术(CMOS6)
机译:高折射率浸没式光刻技术和第二代浸没液可实现1.55的数值孔径,从而具有成本效益的32 nm半节距
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
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机译:技术信函报告:汉福德废玻璃化工厂的浸没式床洗涤器沉积物再悬浮试验
机译:用于浸没式光刻工艺的基板,用于浸没式光刻工艺的基板的制造方法以及浸没式光刻
机译:液体浸没光刻技术和液体浸没光刻技术
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