离子氮化—PECVD复合处理沉积TiCN薄膜的性能研究

摘要

采用离子氮化及等离子体增强化学气相沉积复合处理方法在高速钢W18Cr4V基体上沉积TiCN涂层,即在沉积之前先对试样进行氮化处理。以金属有机物钛酸丙酯[化学式(C3H7O)4Ti]作为钛源沉积TiCN薄膜,并对最佳工艺条件下制备的薄膜进行了组织与物相观察、截面显微硬度测验、氧化试验以及耐磨试验。结果显示:经过复合处理的试样具有较平缓的截面硬度梯度、高的抗氧化性能(涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性)和较好的耐磨性。