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高世桥; 曲大成;
北京理工大学机电工程学院;
北京理工大学机电工程学院信息科学技术学院;
微机电系统; MEMS; 微机械加工; 智能控制;
机译:聚合物薄膜的CVD:在传感器,生物技术,微电子/有机电子,微流体,MEMS,复合材料和膜中的应用
机译:用于微推进应用的微机电系统(MEMS)热力推进器的点火和燃烧特性
机译:使用能量收集应用的微机电系统(MEMS)工艺对Bimorph Pb(Zr,Ti)O_3(PZT)悬臂进行微加工
机译:在微机电系统(MEMS)应用中制造多层微线圈的新技术
机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:用于生物医学应用的基于微机电系统(mEms)的微流体装置
机译:利用微机电系统(mEms)微快门设计进行自适应编码孔径成像(aCaI)技术
机译:具有微机电系统(MEMS)技术的微流体通道可嵌入,横向振荡的重力传感器装置
机译:利用微机电系统(mems)技术制造的微流体通道可嵌入,横向振荡重量传感器设备
机译:利用微机电系统(MEMS)技术制造的微流体通道可嵌入,横向振荡重量传感器设备
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