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魏强;
泰山学院物理系;
山东泰安271021;
微机电系统; 微机械; 微传感器; 微细加工技术; 微电子技术; 加工工艺;
机译:用于微推进应用的微机电系统(MEMS)热力推进器的点火和燃烧特性
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:在微机电系统(MEMS)应用中制造多层微线圈的新技术
机译:使用微机电系统(MEMS)技术的可调光微谐振器。
机译:利用微机电系统(mEms)微快门设计进行自适应编码孔径成像(aCaI)技术
机译:光学数据通信使用微机电系统(MEMS)微镜阵列
机译:多目标跟踪器和微机电系统(MEMS)微镜阵列,用于指定,测距和主动成像
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