厚度对室温沉积ZnO∶Al薄膜光电特性的影响

摘要

利用直流磁控溅射法,在室温玻璃衬底上制备了具有良好附着性的多晶ZnO∶A l(ZAO)薄膜。比较了室温下获得的薄膜与衬底加热条件下所得薄膜的结晶程度,研究了厚度对室温条件下制备的ZAO薄膜表面形貌、电学性能及紫外-可见-近红外光区透光性的影响。结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜也具有(002)面择优取向,随着膜厚的增加薄膜晶粒化程度提高,载流子浓度和迁移率增大,电阻率下降,薄膜在紫外光区的吸收边发生红移,在可见光区的平均透过率降低,在近红外光区的透过率随厚度的增加而减小。厚度为1200 nm的ZAO薄膜具有最佳光电综合性能,其电阻率为7.315×10-4Ω.cm,方块电阻为6.1Ω/□,可见光区平均透过率达到82%,波长为550 nm处的透过率为87%。