磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析

摘要

本文利用X射线衍射技术表征了磁控溅射Pt薄膜的纤维织构.并给出了一种表征薄膜纤维织构的一般性方法.研究结果表明,利用X射线衍射的特殊扫描方式可以实现薄膜纤维织构的定量和定性表征.对于制备态Pt薄膜而言,织构漫散;400℃退火后,薄膜{111}型纤维织构变强,表明Pt薄膜的强{111}织构系退火时薄膜的再结晶所致.