低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能

摘要

采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿 ｃ－轴高度取向的单晶 ＺｎＯ薄 膜，研究了衬底温度及反应气氛中的 Ｏ２对薄膜结构的影响，结合荧光光谱（ＰＬ）和荧光激发光谱（ＰＬＥ） 研究了玻璃上ＺｎＯ薄膜的光学跃迁特性．在３２５℃下获得的单晶薄膜（００２）晶面的ｘ射线衍射峰强度 最大且线宽最窄（０．２８）．反应气氛中的 Ｏ２对 ＺｎＯ 薄膜结构的影响不明显，但对薄膜的 ＰＬ及 ＰＬＥ 特性的影响显著．