整体式空间3自由度精密定位平台的优化设计与试验

摘要

根据柔顺薄板的弹性变形原理,设计一种整体式空间三自由度柔顺并联微动平台。分析该平台的输入耦合特性,对三种输入耦合形式对定位精度的影响进行讨论。基于有限元法,给出平台的刚度模型,对平台的结构尺寸进行优化设计,并通过ANSYS仿真分析验证优化结果的正确性。在此基础上进一步建立平台的位置正解和位置逆解方程,对平台的定位精度进行试验研究,提出一种基于理论分析模型的试验修正方法,该方法能有效提高平台的定位精度,研究表明该平台具有亚微米级的定位精度。