具有全柔顺支链的空间四自由度微动超精密定位平台

摘要

本发明涉及超精密定位技术，特别是一种具有全柔顺支链的空间四自由度微动超精密定位平台。本发明四个相同全柔顺支链中每个支链均与相邻支链互相垂直并且均匀的固定在基座上，微动平台安装在四个全柔顺支链的运动输出端上，精密定位器固定在微动平台上。其继承了并联机构空间多自由度运动特性，克服常规方式由于螺纹孔行程和传动摩擦等因素对精密定位精度的影响，达到纳米级超精密定位。