适用于高压模拟电路的新颖按比例缩小技术

摘要

在双极和BiMOS工艺中,用三层缓变外延层代替单层恒定浓度的厚外延层,使高压器件缩小了15～40％。由于结隔离热周期的缩短和表面耗尽扩散的减小,使按比例缩小尺寸成为可能。