一种适用于高压气体的压电比例调节阀

摘要

一种适用于高压气体的压电比例调节阀，包括入口端盖组件、双级柔性铰链位移放大式压电驱动器、阀体、导向片弹簧压环、导向片弹簧、阀杆和阀座；阀体为两端直径不同的空心圆柱体，直径小的圆柱体两端内壁加工有台阶，台阶上设置有导向片弹簧和导向片弹簧压环，双级柔性铰链位移放大式压电驱动器一侧与阀杆连接，阀杆穿过导向片弹簧后插入阀座中实现密封，双级柔性铰链位移放大式压电驱动器的电缆通过入口端盖组件与外部驱动电压连接，入口端盖组件与双级柔性铰链位移放大式压电驱动器另一侧连接，入口端盖组件与阀体、阀座与阀体通过电子束焊接方式连接在一起。本发明的压电比例调节阀质量轻、流量调节范围大、精度高、抗力学环境能力强。