超分辨近场结构之纳米光刻技术

摘要

超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技 术。介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用,拓展了超分辨近场结构的外延:在近场范 围内,能实现超过衍射极限的纳米多层膜结构。局域表面等离子体效应在高密光存储、纳米光刻等纳米光子学 研究领域具有重要的科学意义和应用价值。