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王沛; 张斗国; 唐麟; 鲁拥华; 焦小瑾; 明海;
中国光学学会;
超分辨近场结构; 近场光学; 纳米光刻技术;
机译:使用PtO_x热分解光刻技术高速制作超分辨率近场结构只读存储器母盘
机译:利用超分辨率近场结构的光刻技术
机译:Ag纳米结构增强超分辨率近场结构盘的载噪比
机译:AgO_x超分辨率近场结构中纳米散射引起的局部近场增强的远场光学响应
机译:衍射光学近场激光光刻技术,用于制造3维周期性纳米结构。
机译:纳米球体光刻技术制备的等离激元纳米结构的光学近场图
机译:用于中频带太阳能电池局部光增强的近场纳米光子结构的发展-用于中频带太阳能电池局部光增强的近场纳米光子结构
机译:使用DpN纳米光刻技术创建金属和半导体纳米结构
机译:近场曝光掩模,形成抗蚀剂图案的方法,制造装置的方法,近场曝光方法,图案形成方法,近场光刻技术和近场纳米印迹法
机译:近场曝光掩模,抗蚀剂图案形成方法,器件制造方法,近场曝光方法,图案形成方法,近场光光刻技术和近场纳米印迹方法
机译:超分辨近场结构和超分辨近场曝光方法
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