人造软X射线单色器结构与性能的模拟计算

摘要

本文用计算机模拟计算的方法较详细地研究了W/C和Mo/Si人工多层膜x射线单色器结构与性能的关系。得到了多层膜层数和多层膜膜厚偏差对x射线衍射峰峰度、峰宽影响的一系列数据。本文还比较了膜厚无规涨落与系统线性偏差这两种偏差对单色器能量分辨率的影响,计算的结果表明后者的危害较大。