气相沉积纳米多层膜吸波性能及机理研究

摘要

利用离子束辅助气相沉积法在透明胶片基底上制备了A/B型纳米多层膜,其中A为铁磁层,B为介电层。用透射电镜(TEM)测定了多层膜的层间结构,用X射线光电子谱(XPS)测定了铁磁层中铁的化合态,并对样品在(8～18)GHz频段内的吸波性能进行了测试。结果表明,气相沉积法可以制得良好的层间结构,单层铁磁层和介电层厚度比有一个最佳值;多层膜的层数对吸波效果影响很大,铁磁层中铁的价态对吸波效果有一定的影响。基于这些试验结果,用量子理论探讨了纳米多层膜的吸波机理。