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郑海务; 苏剑峰; 顾玉宗; 张杨; 傅竹西;
微系统物理研究所;
河南大学物理与电子学院;
开封475001;
中国科学技术大学物理系;
合肥230026;
无机非金属材料; 6H-SiC薄膜; 低压CVD; 蓝宝石; 微结构;
机译:使用α-Fe2O3缓冲层通过薄雾化学气相沉积法在a,m和r面蓝宝石衬底上外延生长α-Ga2O3薄膜
机译:超声喷涂辅助薄雾化学气相沉积法生长的a面蓝宝石衬底上的外延ZnO薄膜
机译:在氢化物气相外延中通过HCl化学反应蚀刻,从m面蓝宝石衬底上实现2 in。独立式m面GaN晶片与m面蓝宝石衬底的新型原位自分离
机译:等离子体辅助金属有机化学气相沉积(PA-MOCVD)在蓝宝石衬底上生长Al x inf> Ga 1-x inf> N外延薄膜
机译:微金属应用中通过金属有机气相外延生长在6H-SiC(0001)衬底上的GaN和AlGaN的生长,掺杂和表征。
机译:化学气相沉积(CVD)中C面SiC和蓝宝石上的石墨碳外延生长
机译:通过化学气相沉积法在Si和C面4H SiC衬底上生长和表征SiC外延层
机译:低压金属有机化学气相沉积法研究基面蓝宝石和siC衬底上alN和GaN层初始生长的微观结构比较
机译:高质量的α-Ga2O3薄膜通过纳米棒图案蓝宝石衬底上的杂交气相外延生长及其制造方法
机译:在蓝宝石衬底上生产外延硅膜-通过含二氯硅烷的气体混合物中的化学气相沉积
机译:金属有机化学气相沉积在硅衬底上生长的GaAs外延层中δ掺杂的方法
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