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杨声海; 刘银元; 邱冠周; 唐谟堂;
中南大学;
乙醇钽; 氧化钽薄膜; 化学气相沉积;
机译:金属有机化学气相沉积法使用液相前驱体制备银薄膜,并通过硒气相沉积法将其转化为硒化银薄膜
机译:O_2和N_2退火对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备氧化钽薄膜电学性能的影响。
机译:观察气溶胶辅助化学气相沉积钽氮化钽薄膜硬脂酸的可见光活性光催化降解
机译:液体输送金属化学气相沉积制备锶铋钽酸盐薄膜
机译:金属有机化学气相沉积法制备钽酸钽铌酸钾薄膜的结构,介电和光学性质
机译:汽液化学气相沉积法在钽基板上制备InxGa1-xN纳米线
机译:用二氟甲硅烷基和卤化钽对硅化钽薄膜进行化学气相沉积
机译:化学气相沉积钽基合金的研究进展
机译:贵金属化合物薄膜和贵金属薄膜的化学气相沉积方法以及制备化学气相沉积的有机金属化合物和化学气相沉积的金属有机化合物的方法
机译:用于化学气相沉积的有机金属化合物,用于化学气相沉积的有机金属化合物的制备方法,新型金属薄膜和用于新型金属复合薄膜的化学气相沉积的方法
机译:可用于化学气相沉积的钽和铌试剂,以及使用该试剂沉积涂层的方法(化学气相沉积处理中常用的钽和铌试剂,以及使用该方法沉积涂层的方法)
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