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刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福;
上海交通大学机械与动力工程学院;
同济大学机械工程学院;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;
微机械陀螺; 子结构; 检测电容; 工艺误差;
机译:基于弹性体模型的音叉微机械陀螺仪检测电容分析方法
机译:基于剪切应力检测的A轴石英音叉微机械陀螺仪
机译:移动基座上音叉微机械陀螺仪非线性漂移的解析补偿算法
机译:基于电容式微机械陀螺仪频率调制方法的闭环驱动电路
机译:基于模糊方法和隐马尔可夫模型的机械加工和旋转机械故障检测与诊断
机译:负静电弹簧效应的刚度匹配法降低微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:通过具有负静电弹簧效应的刚度匹配法减小微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:NsTX和alcator-CmOD H模式微振动和传输的陀螺动力学计算
机译:音叉振动器和振动陀螺仪以及使用该音叉振动器和振动陀螺仪的电子设备的制造方法以及使用该电子设备的音叉振荡器
机译:音叉型比莫压电压电振动器,包括该振动器的振动陀螺仪模块以及制造音叉型比莫压电振动器的方法
机译:音叉型比莫普压电振动器,使用该振动器来振动陀螺模块以及制造音叉型比莫普压电振动器的方法
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