机译:负静电弹簧效应的刚度匹配法降低微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:负静电弹簧效应的刚度匹配法降低微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度
机译:一种新型的静电驱动音叉微机械陀螺仪,其杆结构在大气压下工作
机译:具有扭转Z感测和静电力平衡驱动的横轴微机械音叉陀螺仪
机译:使用刚度非线性和静电调谐的微机械模式匹配的陀螺仪
机译:每小时度模式匹配的微机械硅振动陀螺仪。
机译:具有锚固金刚石耦合机制的MEMS音叉陀螺仪的设计和振动敏感性分析
机译:通过具有负静电弹簧效应的刚度匹配法减小微机械音叉陀螺仪的振动灵敏度