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掺Zn-InP的热处理

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InP 单晶衬底已广泛用于制备长波长光纤通信的激光器和探测器。除了一般的 n 型衬底材料以外,p 型材料的使用也受到重视并获得成功。因为锌在 InP 中具有杂质效应,所以掺锌生长 p-InP

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来源
《稀有金属》 |1989年第5期|437-440|共4页
作者
谭礼同; 周景龙; 方敦辅; 姚以珍;
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作者单位

中国科学院上海冶金研究所;

上海半导体器件十六厂;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备 ;
关键词
掺Zn-InP; 热处理; InP; 掺锌;

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