基于双环境力的MEMS执行器的设计与研究

摘要

设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器。根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析,应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁X、Y方向弹性系数的计算公式。在ANSYS/LS-DYNA中对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图。计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,具有结构紧凑、抗过载能力强的特点。