MOCVD法ZnS∶Mn电致发光薄膜的结晶与光学特性

摘要

用Ｘ射线衍射仪研究了ＭＯＣＶＤ法制备的ＺｎＳ∶Ｍｎ薄膜的结晶特性，用二次离子质谱仪分析了锰在立方晶相硫化锌中的分布，解释了薄膜两侧原子堆积层的成因，测量了ＺｎＳ∶Ｍｎ电致发光薄膜的光学特性。