AlN films; nano-patterning; stress; optical properties; Raman spectroscopy; HRXRD; TEM; spectroscopic ellipsometry;
机译:MOCVD在Si衬底上生长的ZnO薄膜的结构和光学性质与温度的关系
机译:在(Mn,Zn)Fe_2O_4衬底上生长的AlN薄膜的结构特性对生长温度的依赖性
机译:低温AlN成核层的厚度对通过MOCVD法在双步AlN缓冲层上生长的GaN的材料性能的影响
机译:AlN缓冲剂对MOCVD在蓝宝石衬底上生长AlN薄膜性能的影响
机译:金和金合金薄膜中粘弹性应力松弛的时间和温度依赖性。
机译:在不同温度下通过脉冲激光沉积在AlN / Si异质结构上外延生长的GaN薄膜的微观结构和生长机理
机译:氧含量对大气压MOCVD生长ZnO薄膜结构和光学性能的影响