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双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度

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介绍了通过双晶ｘ射线衍射测量超薄外延层厚度的一种方法。利用回摆曲线中的干涉条纹测量了通过ＭＢＥ生长的Ｇａ０．７Ａｌ０．３Ａｓ／Ｇａ０．９Ａｌ０．１Ａｓ／Ｇａ０．７Ａｌ０．

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来源
《半导体技术》 |1999年第6期|45-46|共3页
作者
曲轶; 高欣; 张宝顺; 薄报学; 张兴德;
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作者单位

吉林大学电子工程系;

长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体激光器;
关键词
量子阱激光器; 外延材料; 厚度; x射线衍射法;

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