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晶片质量及加工工艺对SAW器件性能的影响

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摘要

本文对SAW器件的基片质量及基片加工工艺给器件性能产生的影响进行了实验分析;对器件制作的某些工艺与成品率之间的关系进行了分析和探讨.文中以表格和概率统计反映各种影响因素与成品率的关系,给出了一些晶片质量和器件性能的图片.

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来源
《压电与声光》 |1990年第3期|23-37|共15页
作者
孙向明;
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作者单位

四川压电与声光技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类声光器件;
关键词
SAW器件; 晶片质量; 加工工艺; 滤波器;

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