(111)择优取向ZnS薄膜的制备及特性研究

摘要

采用激光分子束外延技术在Al_2O_3衬底上成功外延生长了ZnS薄膜。用X射线衍射、扫描电子显微镜和光致发光谱表征了衬底温度对薄膜结构、形貌和光学特性的影响。结果表明所生长的ZnS薄膜为闪锌矿,具有(111)择优长向,随衬底温度的升高,X射线衍射峰的半高宽先减小后增大,在衬底温度为300℃时,半高宽最窄。薄膜结构致密,表面不平整度随衬底温度的升高而增大。薄膜的带隙随衬底温度的升高出现蓝移,可见光区域透射率最高达到98%,在360 nm激发波长下,观测到402 nm和468 nm两个发光带,衬底温度为300℃时,发光最强。