射频无电极放电氮气等离子体光源研究

摘要

本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%。最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitive plate,PS版)进行了曝光,通过曝光前后PS版感光层颜色的光密度变化评价了感光效果。