5. 放電生成プラズマ光源5．1放電生成プラズマ光源研究の現状

摘要

EUV光源に川いられるプラズマの生成法には，前章で解説されたレーザー生成法と，本章で仰視する放電生成法とがある．放電生成法は，レーザー生成法と比べて装低湿模を非常に小さくすることが可能で，運転コストも安くできると考えられている．さらに，放電パラメータの制御により発光効率を格段に向上できる可能性が高いので，以下で述べる諌題を僻決できれば，非常に魅力的な光源になり得る．